二手 MATTSON HELIOS #293821685 待售

MATTSON HELIOS是一款高性能、强健的快速热处理器（RTP）,设计用于关键热过程中的高效、精确温度控制。HELIOS配备了大功率半绝缘射频发生器、先进的温度控制算法、高精度的自动温度测量以及优化的硬件和软件配置。它利用高容量的石英和石墨敏感器，由强大、节能的射频发电机快速均匀加热。预编程的热输入剖面结合了快速加热、精确温度控制和快速冷却，实现了快速、高精度的热处理结果。同时，实时闭环温度控制算法确保了高精度、可重复、可靠的过程温度控制。此外，通过内置热电偶精确和连续地测量磁感器的温度，该热电偶也可以设置为根据所需功率或温度水平来控制磁感器温度。通用软件允许可变流程定制，集成的半自动工具用于数据记录功能，提供高效、可重复的处理。为支持仪器的高温安全运行，MATTSON HELIOS设计了一个模块化宽敞的防火材料外壳、空气过滤系统和紧急关闭系统。它还提供了一些安全功能，如密封、火灾探测以及视听报警。总体而言,HELIOS是一款先进的快速热处理器,可确保高精度、可重复和可靠的温度控制,以及可靠高效的热处理。适用于广泛的行业，包括半导体、薄膜、汽车、医疗、科研。