二手 MATTSON Helios #293829700 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器（RTP），设计用于各种高级热处理应用。该设备能够在-190°C至850 °C的各种温度范围内提供精确、可重复的温度控制。这种强大灵活的系统非常适合在半导体、LED和磁性记录介质行业中进行RTP退火、氧化物带、氮化物带和扩散处理。HELIOS的框架由附着在气动四轴机器人臂上的不锈钢室组成。机器人臂能够以受控和可重复的方式同时接收、移动和放置多个晶片进出腔室。该室还有几个可调热电偶和气体管线，提供精确的温度和过程控制。腔室和机器人手臂都受到许多特性的保护，包括温度控制的空气过滤和排气装置。机器由基于计算机的控制工具提供动力，该工具可通过一组用户友好的图形用户界面进行编程。这允许用户设置各种操作参数，包括最高退火温度和要应用的功率，以及其他特定于工艺的参数。还可以将资产配置为在整个退火周期中监视、记录和报告流程条件,从而为操作员提供详细的数据、有用的可视化和警报,以优化流程设置。MATTSON HELIOS还具有独特的坡道上升/下降功能,使模型能够以快速、精确的温度坡道执行快速热过程循环。该设备还具有模块化扩展能力，以支持流程创新和扩展。这使得它成为研究数据中心和连续过程系统的理想选择。最后,HELIOS配备了多种安全功能,包括温度限制开关、超时传感器、安全停止和手动安全开关,让操作员放心,他们的过程安全、熟练。