二手 MATTSON HELIOS #9315046 待售

MATTSON HELIOS是一种用于半导体制造的快速热处理器（又称RTP）。HELIOS由MATTSON Technology创建,是一种用于芯片制造的全自动热处理设备,能够提供精确的热处理过程,这对于形成先进的半导体产品至关重要。MATTSON HELIOS RTP专为各种基板的快速热处理而设计，如硅、III-V化合物和宽带隙材料。它提供了极快的热处理时间，在所有晶片上具有快速的温度转变和均匀性范围。此外，这种RTP能够提供高温、高剂量的工艺，非常适合兴奋剂、植入、氧化、氮化和金属有机化学气相沉积（MOCVD）等应用。系统强大的设计和模块化配置可以轻松满足任何特定的流程要求。HELIOS RTP是一个紧凑高效的单元，在很小的空间内提供热处理。它配置了最先进的热控制和反馈系统,以确保始终可重复的温度配置文件、准确性和前端自动化。此外，该机器还包括一个自动化的前端机器人，该机器人具有整体式晶圆处理功能，并具有集成的大气温度和压力测控等选项。该工具还设计了一流的热氧化和氮化模块，以及用于纯净材料沉积的超清洁MOCVD模块。它还具有可选择的系统，可以将铝、​​和钴与氮化​​物的阻隔层相沉积，从而最大限度地减少污染。该资产还具有自我清洁功能、高吞吐量、额外的诊断工具和远程支持功能。总体而言,MATTSON HELIOS是一款可靠而精确的RTP,它提供了广泛的高级功能来满足所有半导体制造需求。它是一种经济高效的高速热处理解决方桉,为快速、一致的处理提供自动对齐和过程控制。