二手 MATTSON HELIOS #9378666 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器（RTP），设计用于各种基板的自动处理。RTP系统被用于多种应用，包括电子制造、生物医学器件制造和纳米电子器件制造。RTP设备由几个元素组成,它们协同工作以快速准确地处理基板。RTP系统的主要组件包括控制器、预热器（或预热源）、加热器板、感光器、真空卡盘、热交换器和气体输送。控制器用于为每个组件设置温度,并且可以更改处理参数,如温度、压力和气体流量。控制器还提供用于监视、控制和通信的外部接口。预热源在每个加工步骤之前将基板表面加热到特定温度，从而在整个材料中产生均匀的温度。这通常通过使用电阻加热器来完成，HELIOS预热源使用红外灯。加热器板在过程中为基板提供能量。MATTSON HELIOS利用微波、对流和欧姆加热来保证基板的快速甚至加热。安装在加热器板下侧的感光器用于在加工过程中固定基板。HELIOS敏感剂采用高导热性的陶瓷材料进行高效传热。真空卡盘用于将感光器和基板固定到位，以及提供真空密封以创建真空室。MATTSON HELIOS利用3点支撑真空卡盘单元对基板进行精确对准。热交换器在加工后冷却基板的温度，防止热损坏或样品过度处理。HELIOS热交换器采用对流、传导和辐射冷却相结合的方式进行高效冷却。最后，气体输送机向工艺室提供惰性气体或反应性气体，确保了工艺的合适气氛。MATTSON HELIOS利用多级气体输送工具，可以精确控制所用气体的流量、压力和类型。HELIOS是一种功能强大且可靠的RTP,用于快速准确的基板加工。它结合了预热源、加热器板、敏感器、真空卡盘、热交换器和气体输送资产，使其成为精密基板加工的理想解决方桉。