二手 MATTSON HELIOS #9382889 待售

MATTSON HELIOS是由MATTSON Technology, Inc开发制造的快速热处理器。它是为各种先进的金属化和晶圆制造任务而设计的大型系统。这台功能广泛、功能强大的机器广泛应用于集成电路、微电子和纳米设备的制造。处理器利用先进的快速热处理技术实现高吞吐量。它在同步处理阶段提供了无与伦比的准确性、可重复性和稳定性。系统包括可容纳550毫米或200毫米晶圆的大腔室。它还具有独特设计的双区域处理体系结构,减少了完成每个金属化和基板制造任务所需的时间。HELIOS采用自动化过程控制器（APC）,配备强大的设计套件和用户友好界面。这使用户能够在短时间内创建和保存配方、调整参数并轻松监控生产步骤。处理器设计为使用氧气、氮气和其他元素的气体溷合物进行快速热处理。为方便起见，它还配备了内置吸尘器，显着降低了气体消耗。处理器是模块化的,允许用户根据特定的应用程序集成其他模块。这台多功能机器适用于化学机械抛光（CMP）、自旋晶片制造、电镀、扩散、氧化、氮化和晶片测试等多种工艺。MATTSON HELIOS还支持大量附加选项,允许用户根据特定需求自定义系统。总体而言,HELIOS是一款功能强大且用途广泛的快速散热处理器,旨在满足高级金属化和晶圆制造任务的不同需求。它提供了卓越的准确性、工作效率和灵活性,可实现高速和经济高效的处理。