二手 MATTSON HELIOS #9382891 待售

MATTSON HELIOS是一款利用直接加热进行高精度热处理的快速热处理器。它旨在快速高效地处理各种半导体基板的小批量和大批量。HELIOS提供退火、烧结、粘合和固化材料的高级功能,而无需原位真空。MATTSON HELIOS具有多种工作站功能,适用于试点和生产级别的应用程序。HELIOS的直接热能输送设备（DTED）利用了几项创新技术来确保精确和高质量的基板处理。其先进的平面加热（APH）技术将热量均匀地分布在基板表面上,而其三点热控制（TPTC）系统确保了最高的可重复性。TPTC技术还允许在处理过程中精确的温度剖面。MATTSON HELIOS为精确和可重复的温度控制提供了极大的灵活性。过程控制器配有可编程坡道和浸泡多读点，简化了编程，消除了额外硬件的需要。该单元也是自行设计的，用于监测关键机器参数如腔室压力、含氧量、冷却速率等。这样可以确保符合关键的质量控制标准和关键的热处理参数。此外,HELIOS还设计用于快速安装和基板加载.其先进的集成能力使基板自动交换成为可能。其独立的盒式存储功能使工艺参数可以很容易地被召回，以便将来参考。橱柜和抽屉工具的设计有助于组织工作量，并为繁忙的热处理实验室提供了一个整齐、有组织的方法。MATTSON HELIOS最多可配置三个站,取决于所使用的基板。它有多种腔室配置，并提供低成本维护。综上所述，HELIOS是一种尖端的快速热处理资产，提供精确的热处理，具有极好的重复性和准确性。适用于中小型生产运行，为用户提供了轻松编程温度配置文件和监控关键模型参数的能力。其高效的设计和集成能力,允许快速设置和基板加载.