二手 MATTSON HELIOS #9389809 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器（RTP），设计用于最先进的晶圆处理。它提供了非同寻常的生产速度和温度配置文件。通过最先进的电子设备，可以有效地监测和控制单个晶圆的多个温度区。HELIOS是市场上最先进的RTP工具，旨在满足先进设备集成技术的苛刻要求。其主要特点包括：具有高达2000C/minute的快速坡道速率能力；高温能力可达1050C；超低工作周期；和多个地铁站,允许在多个晶圆上同时进行过程。MATTSON HELIOS利用先进的诊断和控制系统,确保其运行的过程具有高度的可靠性和可重复性。其电子监控系统确保了过程的精确控制。双NDIR气体流动系统提供了最高纯度的过程气体输送，并有效地将污染水平降至最低。此外,处理器还利用特殊的高纯度陶瓷热源进行最高质量的退火操作。HELIOS具有坚固的物理结构和坚固的隔热装置,以确保高功率密度和最小的热扩散,这对于精确的热处理操作至关重要。其精密的过程控制软件优化了热循环，以实现高效和全自动的多站过程。MATTSON HELIOS提供卓越的性能，以提高集成电路和MEMS系统的产量。这种处理器广泛应用于包装、高级晶圆稀释、MEMS和光子学制造等广泛应用。HELIOS是一种功能强大、可靠且经济高效的设备,非常适合精确热处理。