二手 MATTSON HELIOS #9390687 待售

MATTSON HELIOS是一种快速热处理器（RTP），旨在向MEMS设备和其他IC提供快速退火和低温回流过程。利用快速热退火（RTA）技术,HELIOS能够在小型且坚固的封装中提供最高精度的连续热控制。它旨在提供温度高达1200 °C、循环时间短至4秒的热过程。MATTSON HELIOS提供了非常高水平的过程重复性和准确性，并有可能给出温度和时间等过程变量在+/-0.5%以内。热剖面的均匀性也最大化，标准工艺达到+/-2°C的温度均匀性。这种可重复性和统一性很难与其他RTP实现，使得HELIOS成为许多流程应用的理想工具。MATTSON HELIOS具有集成的计算机控制系统,允许用户自定义和控制整个热过程。板载计算机包括易于使用的图形界面,可快速访问所有工艺选项,同时提供保护用户和设备的安全功能。该系统还包括用户定义的配方、流程监视器和数据收集、示例数据库以及流程日志，以支持高级流程控制。HELIOS的鲁棒性也提供了即使在最具挑战性的操作环境中的高可靠性。该系统专为在恶劣环境中运行而设计，并根据MIL-STD-810F进行冲击和振动测试。真空密封结构还提供了出色的隔热和机械稳定性，从而使MATTSON HELIOS成为一个值得信赖的用于测量和测试小型设备的工艺解决方桉。总体而言,HELIOS为研究和小型生产线提供了可靠可靠的解决方桉。热精度、可重复性和均匀性也使其成为MEM和其他IC应用的理想选择。MATTSON HELIOS具有高速过程自动化和先进的用户界面,是许多应用程序的理想快速热处理器。