二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #293595367 待售

MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPTC RTP-600S是一种先进的快速热处理器，被半导体制造商和研究实验室用来在大型晶圆上退火、涂料和生长薄膜。MPTC RTP-600S被设计成既作为一个独立的工具，又作为大型晶圆级热处理系统的一部分。它使用多个独立控制的腔室区域来处理直径达300 mm的样品。它具有快速的上升/下降功能,非常适合多种类型的高温过程。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S带有强大的8kW红外热源,能够达到1250oC的温度。此外，它还利用专有的反射加热设备，使系统能够快速上升或下降，同时保持整个晶圆的均匀温度。该设备还配备了智能热控制软件，用户可以配置坡道速率和最高温度，以获得最佳效果。此外，RTP-600S还采用了一种专利冷却技术，将工艺室的衰减时间最小化到不到一秒。这样可以确保快速的流程周转以提高吞吐量。该机器还配备了多个传感器和基于PLC的用户界面，可以精确监测和控制热过程。最后,考虑到安全性,设计了模块化工艺技术/MPTC RTP-600S.它带有火灾探测和抑制系统以及紧急关闭工具。此外，它的排气过滤资产有一个内置的活性炭过滤器，从工艺环境中清除有害物质。总体而言,MPTC RTP-600S是任何寻求可靠快速热处理器的半导体制造商或研究实验室的绝佳选择。其强大的热源、快速的坡道速率和优越的安全特性，使其成为晶片级高温处理的理想选择。