二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600S #9241026 待售

MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S是为高效热退火过程而设计的快速热处理器。MPTC RTP-600S配备单一高速毛细管，可提供超快速退火工艺。模块化工艺技术RTP-600S用两个石英灯阵列从工艺室底部加热半导体基板或晶片，并在几秒钟内实现快速热退火（RTA）温度。RTP-600S利用线性加热机制，沿晶片表面提供均匀的加热和冷却。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S允许无与伦比的过程控制和准确性,因为它的专利"径向深层热点"设计允许精确调整热退火轮廓。MPTC RTP-600S提供了出色的工艺灵活性，以满足各种基材的需求和应用要求。这一工艺还支持包括硅、碳化硅和砷化的多种晶片。此外,晶圆的大小和形状也可以根据应用程序的要求进行定制。直线加热块设计与紧凑的晶片载波配合，方便可靠的晶片装卸。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S控制器能够处理多个过程请求,并对过程参数（如温度和时间）提供出色的控制。RTP-600S还集成了一个集成的冷却风扇，使暖点温度保持在较低水平。这种集成风扇和使用风冷加热器有助于减少热循环时间和减少热失真。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600S工艺室是真空密封的，允许创建接近密封的密封，以防止气体和水分渗透，并在加工过程中使水分远离晶片。该工艺还包括车载气体输送和排气系统，以便将受控数量的工艺气体添加到工艺室内。MPTC RTP-600S是为实现最大的可靠性和鲁棒性而设计的,它可以执行500多个可重复的热循环,而无需精确对准或特殊的工艺设置。此外,MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600S遵循安全准则,并通过多个安全协议进行认证。