二手 MODULAR PROCESS TECHNOLOGY / MPTC RTP-600XP #9262681 待售

ID: 9262681
优质的: 2008
Rapid Thermal Annealing (RTA) system 2008 vintage.
MPTC/MPT MODULAR PROCESS TECHNOLOGY/MPTC RTP-600XP是一种快速热处理器,用于处理晶圆样品的均匀加热和冷却。它使用卤素灯和Peltier效应的组合,快速加热,冷却和退火装置底物。这些快速热处理被用于快速热氧化、快速热退火、快速热硝化、快速热扩散和快速热激光烧蚀等多种应用。MPTC RTP-600XP是为了在温度控制方面实现最高的精度和可重复性而设计的。其专有的Edge Energy Control Plate技术提供围绕晶圆周长的精确且均匀的功率分配,具有极低的热梯度。MODULAR PROCESS TECHNOLOGY RTP-600XP能够迅速提高到600°C的基板温度,并且还支持单晶圆和并行配置,使其适合各种应用。此外,RTP-600XP还配备了高性能的安全和安全系统,可保护其免受损坏并保持最佳运行状态。其中包括带有标志和温度过高保护的电源监视器电路,以及用于保护系统光学元件的硬件保护套。此外,系统还包括一个高效的低噪声风扇,以确保系统和样品的有效冷却,以及光学器件的冷却。MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPTC RTP-600XP操作简单,可提供通用的数据记录功能和可定制的晶圆配方。它还可以与自动化设备和特定于应用程序的软件集成,以实现全自动处理。此外,它的小占地面积和移动设计使其非常适合用于研究和质量保证应用。总体而言,MODULAR PROCESS TECHNOLY/MPT MPTC RTP-600XP是各种晶圆处理类型的理想快速热处理器。它精确、高效,并为最大的安全性和可重复性而设计。它还提供了一系列有用的功能,使其适合各种应用,而其小型设计和移动功能使其适合在较小的实验室和设施中使用。
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