二手 NEWYOUNG RTA-150H-AVP1 #9308219 待售

NEWYOUNG RTA-150H-AVP1是NEWYOUNG为大批量制造高密度电子器件而开发的先进快速热处理器（RTP）。该RTP可以处理多个热处理步骤,并可以容纳一系列基材和晶圆形状,同时实现业界领先的吞吐量速率。RTA-150H-AVP1设计为高度灵活,允许用户在单个配方中执行各种顺序处理步骤。NEWYOUNG RTA-150H-AVP1利用新的热技术和均匀的加热系统，在整个晶片上实现更好的温度控制和精度。这确保了一个可重复的过程，无论是执行单个晶片还是批处理运行。该系统已针对高级应用进行了广泛的优化，如高密度植入和掺杂活化，以及应变硅掺杂退火步骤。RTA-150H-AVP1也能够快速冷却，达到高达20K/sec的冷却速度。此功能有助于缩短加工时间,并提高可重复性和提高产品产量。此外，NEWYOUNG RTA-150H-AVP1的设计安全可靠。它具有高度直观和易于操作的特点，如自动晶圆映射和直观的软件界面。还增强了维护和可维护性,最大限度地减少了维护和维修的停机时间。此外,RTA-150H-AVP1还与一系列高级诊断和安全监控工具集成在一起,确保即使在电磁干扰困难的环境中也能获得安全和一致的流程结果。该系统还具有优化的反应室设计，有助于保持敏感过程更高水平的纯度。这种无与伦比的多功能性使NEWYOUNG RTA-150H-AVP1成为众多先进微电子应用的理想解决方桉。