二手 NEWYOUNG RTA-150H-SP1 #9134152 待售

NEWYOUNG RTA-150H-SP1是一种快速散热处理器,能够为各种晶圆尺寸提供准确、可靠和可重复的散热循环。它旨在满足所有半导体制造工艺的要求，包括晶圆切丁、晶圆制造和晶圆级装配。它是一个全面的热处理解决方桉，非常适合高容量和高级应用，例如生产高功率或低功率设备。RTA-150H-SP1有一个多区域温度控制设备，每个区域的温度都是快速可控的，这样就可以得到统一和可重复的结果。处理器配有双区馈线系统，用于热处理前的手动或自动晶圆分选。该单元允许在晶片装卸过程中进行精确的定时和区域控制，确保准确性和可重复性。采用双区进纸机，可根据晶圆尺寸自动选择最佳热循环。该机器还包括一个五传感器保护工具，防止晶片过热或过冷，确保最佳温度精度和可重复性。NEWYOUNG RTA-150H-SP1的工艺室容积为300升，工艺压力范围为1-10 Torr。它提供20-250°C的可调可变温度范围工艺窗口,可选配700°C。可编程斜坡速率范围为30-600°C/秒，包括动态温度限制器和歇斯底里，以增强温度可重复性。可自定义的流程控制器最多存储10个程序,总流程参数最多为500个步骤。该机器有一个可选的远程io-Link控制资产,允许对过程进行监视,并记录来自工艺室外部的温度、压力和气流的数据。总体而言,RTA-150H-SP1是一个可靠而坚固的热处理解决方桉,可为各种参数提供准确性和灵活性。其独立的双区馈线模型确保了晶片级处理的可靠性和可重复性，而先进的五传感器保护设备则确保了最佳的温度精度和可重复性。该处理器具有可调、可变温度范围的工艺窗口和可定制的工艺控制器,是各种应用的绝佳选择,包括生产高功率或低功率设备。