二手 NPS RHP150 Plus #293603754 待售

NPS RHP150 Plus是专为大批量生产应用而设计的快速热处理器（RTP）。它是NPS系列快速热处理产品中的最新产品,提供了改进的热均匀性和腔室容量,以及改进的过程控制和优化的热生产率。RHP150 Plus是一个基于腔室的RTP平台,具有四个独立控制的区域,用于各种热过程,包括晶圆和WLCSP退火、稀释和吸气。每个区域由一对功能强大、并联安装的石英散热器驱动，系统使用数字温度控制器保持恒温。加热元件设计可靠、运行稳定，坡道时间短，净空宽广，可用于高热过程。NPS RHP150 Plus设计具有用户友好的功能,可最大程度地减少手动干预和最小化处理时间,使其适合批量生产。集成的晶圆传输系统允许快速、可重复的晶圆装卸，而先进的Allen-Bradley PLC控制器则提供对所有热过程的用户友好控制。此外,NPS还提供多种软件包,以优化散热性能并促进交互式流程开发。RHP150 Plus还可以提供比常规的生产RTP系统更好的过程控制和一致性。采用三点区域温度剖面,以确保整个腔室的均匀性,大大降低可变性,并消除RTP后热处理的需要。此外，利用高速红外成像对热过程中的晶圆温度进行实时监测，从而在不干扰腔室环境的情况下实现快速准确的工艺验证。NPS RHP150 Plus是大批量生产应用程序的理想选择,它提供了一致、可重复的热处理过程,同时减少了与传统批处理式热处理相关的工作量和成本。凭借其先进的特性和灵活性,RHP150 Plus非常适合批量生产关键散热元件。