二手 NPS RPH200 #293603755 待售

NPS RPH200快速热处理器（RTP）是一种高性能、功能齐全的设备,旨在优化半导体材料的热处理。该设备设计为提供精确的温度控制、均匀的加热和快速的坡道速率、宽广的温度范围以及对每个热处理阶段的独立控制。RPH200是具有两个独立加热元件的两级RTP,能够达到500 °C的温度。该系统包括两个独立温度控制的独立加热元件。两种加热元件均可独立编程，并自动同步，以确保加热均匀。强大的加热元件配置可实现快速的斜坡速率、均匀的温度以及整个晶圆的温度均匀性。该装置采用闭路环境压力控制机，使其在整个晶片上实现均匀的压力控制和优异的温度均匀性。冷板也可提供备用冷却源。该工具被设计为与各种各样的工艺工具一起使用，如反应性离子蚀刻系统、原子层沉积系统、光刻工具等等。NPS RPH200有几个标准功能,可方便过程控制。它包括一个多渠道的实时流程监视器，允许对流程优化进行监控和轻松调整。还提供了一个可选的嵌入式氧气（O2）传感器，该传感器对反应室的氧气含量提供反馈，从而实现更大的过程控制。RPH200是一种可靠、高效的RTP资产,能够进行过程优化。它提供精确的温度控制、均匀性、快速的坡道速率，并具有与各种工艺工具配合使用的灵活性。该模型是为易于使用而设计的，确保了多个样本结果的一致性。