二手 PEAK SYSTEMS ALP 5000 #9223657 待售
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PEAK SYSTEMS ALP 5000是一种快速热处理器(RTP),设计用于晶圆的精确和可重复热处理。该设备利用三个独立的热过程按顺序工作,以最高效率创建高性能的生产过程。初始过程是晶片的直接激发,这是利用晶片下方电阻加热元件的快速闪烁实现的。这将在晶圆的宽度上创建一个统一的、受控的热剖面,从而可以在晶圆内精确地放置热激发区。第二个过程是一个循序渐进的热斜坡过程,预定义并编程到系统中,允许加热和冷却周期被微调到一个特定的过程。在第三个也是最后一个过程中,应用了一系列的回流步骤来创建一个高精度、均匀的温度分布在晶圆表面。这样可以确保设备中处理的所有晶片的热图样轮廓一致,从而消除任何变化或不受控制的温度变化。该机操作方便,设计具有多种可定制的功能,包括预置热斜坡序列的用户定义参数和可调节温度设定点。它还为用户提供了一系列编程选项,允许输入晶圆的热特性和温度范围。程序中包含一个附加的安全功能,可随时监控晶圆的温度,从而确保安全性和可靠性。ALP 5000为快速热处理提供了广泛的选项,允许用户根据自己的特定需求定制过程。它的灵活性和准确性确保了热剖面和热斜坡序列的精确度,使用户能够以最小的努力最大限度地提高其工艺性能。可以调整流程以优化性能,从而创建符合现代电子元件制造需求的成本效益驱动解决方桉。
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