二手 PREMTEK RTP 381 SA #9312338 待售

PREMTEK RTP 381 SA是一款先进的快速热处理器,旨在通过优化的周期时间提供卓越的性能。RTP 381 SA利用专有的闭环热控系统和先进的功率调节能力，提供精确的热稳定性，实现了较高的热传输率。该设备可加工直径不超过200毫米、高度不超过25毫米的晶片。它旨在提供可重复、可靠的热控制，以实现高精度的热处理。该系统采用低氮压退火（LNPA）,具有可编程的加热和冷却特性.它的温度范围高达1300 °C，在斜坡上升和冷却周期中可以达到高达1500瓦的峰值功率水平。连续流动淋浴板允许晶圆表面的温度分布均匀，从而提高了工艺均匀性。此外，该装置有一个集成的双臂空气位移单元，在晶圆表面的不同位置提供均匀的热通量。PREMTEK RTP 381 SA可应用于多种基材材料如硅、砷化氙和其他半导体材料。该装置具有先进的安全控制，以减少意外过度回火或危险崩溃的可能性。此外，RTP 381 SA利用有源力传感器对晶圆温度进行实时监测，包括热失控保护。PREMTEK RTP 381 SA具有多种功能集以提高效率并提供优化的过程周期。这些特性包括可编程内存模式、多级温度历史记录、高分辨率温度标记、移位模式和斑点模式温度校正、标线模式温度校正。此外,还可以对设备进行进一步定制,以适应特定的流程需求,从而在不影响准确性的情况下提供最高性能。