二手 Q-THERM / JIPELEC JetFirst #9254046 待售
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ID: 9254046
优质的: 2001
Rapid Thermal Processor (RTP)
Substrate holder, 2"
Can be upgrade to 4"
2001 vintage.
Q-THERM/JIPELEC JetFirst是为半导体器件的高速热处理而设计的快速热处理器。这种高度精确的热处理设备的温度从1摄氏度/秒到4摄氏度/秒不等,其出色的热精度和准确性使其成为许多测量和制造过程所必需的工具。Q-THERM JetFirst设备由几个主要部件组成。其中包括热卡盘和电动机、热块、冷却块、加热器棒、温度控制块和集成控制系统。热卡盘是一个固定的部件,用于固定要加工的基板。它由高导热合金制成,用于对基板提供一致、高质量的热控制。马达用于旋转热卡盘,以确保整个基板表面的温度均匀。使用热块和冷却块,然后将设备冷却或加热到所需温度。加热器棒对半导体基板施加预先设计的热剖面,温度控制块在达到所需温度后保持热剖面。综合控制单位负责全程监控。JIPELEC JetFirst机可用于加工硅、玻璃、金属和其他基板。也可用于快速热退火(RTA)、快速热处理(RTP)、阶梯加热或斜坡,以及先进的温度剖面。这些功能使得它非常适合各种应用,包括结晶、氧化、沉积和掺杂。JetFirst工具提供卓越的性能和准确性。它具有多种安全特性,包括高度可靠的加热传感器、超温监测和报警功能。此外,资产还具有易于使用的图形界面,可以轻松直观地进行控制。总体而言,Q-THERM/JIPELEC JetFirst热处理器是半导体器件热处理的有效工具。它可以以最高的精度和精确度处理1°C/秒至4°C/秒的温度,并提供多种适合多种应用的功能。Q-THERM JetFirst机型凭借其用户友好的界面和全面的安全功能,为更快、更准确、更可靠的热处理提供了绝佳平台。
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