二手 SSI Solaris 150 #9268077 待售

SSI Solaris 150是一款快速散热处理器,专为各种研究和工业应用而设计。它在-150°C至1000°C的宽温度范围内提供出色且均匀的晶圆加热，具有快速的坡度速率。它提供了紧凑的设计和精确的机器人晶片处理设备，使其能够支持各种晶片尺寸（2"、3"、4"、5"和6"），并快速重新配置用于单个晶片或批量操作。Solaris 150采用先进的PID控制晶片加热设计，采用固态灯耦合系统，用于均匀和可重复的热处理。它可以达到超过20°C/sec的高温斜坡速率，而且还有一个集成的光学高温计，有助于精确测量晶圆温度。内置的基于Windows的软件通过可编程配方选项提供了完整的过程控制灵活性。SSI Solaris 150具有可定制的控制体系结构,可用于快速校准和配方开发。它拥有具有直观触摸屏控件的高清数字彩色显示屏，因此用户可以快速轻松地监控和配置设备。这台RTP机器还具有灵活的通信体系结构，可以通过以太网或PC进行连接，从而可以对进程进行远程监控。Solaris 150被设计为执行退火、氮化、氧化、扩散、重结晶、金属沉积和去沉积等各种过程，以满足光子学、MEMS、RF和微电子应用的严格质量要求。它成本低、占地面积小、一致性高,非常适合研究实验室、大学和小型生产设施。为了获得卓越的性能和可靠性,SSI Solaris 150具有先进的安全功能,包括保护性金属护罩和安全互锁,可防止晶圆在电源故障时传输。它还有一个先进的净化工具，有助于提高加工晶片的质量，也有助于减少污染的可能性。