二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9193169 待售
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ID: 9193169
晶圆大小: 12"
Rapid Thermal Processor (RTP), 12"
RTA / Spike anneal
Pressure: ATM
Temperature: 1150°C
Front interface: (3) Load ports
Front end: Ball room
Platform:
RORZE Robot 700 Dual arm
Upper arm: Metal blade
Lower arm: QUARTZ Blade
Type: TDK
TAS300
RFID Foup reader
GEM: Ethernet (HSMS)
MATTSON MMC (P/N: 3001068)
MATTSON Sequencer (P/N: 17002560)
MATTSON I/O Controller (P/N: 17000910)
(8) Cooling stations
(4) Dummy stations
Process module 1, 2:
MATTSON Wafer pyro (P/N: 17001048)
MATTSON Lamp pyro (P/N: 17001040)
MFC Model unit
Gas 3 / UFC 8100 / N2 / 20 SLM
Gas 4 / UFC 3101 / N2 / 150 SLM
Gas 7 / UFC 8100 / O2 / 20 SLM
Gas 8 / UFC 3101 / O2 / 150 SLM
Gas 9 / UFC 8100 / O2 / 2 SLM
Process Quartzware: Standard
Electric:
Transformer
UPS Internal
Power supply: 480 V.
STEAG/AST/MATTSON Helios是一种快速热处理器（RTP）,旨在快速准确地促进各种材料的热处理。利用一种称为快速热处理（RTP）的技术，它可以快速地上升和冷却基板和材料，并进行各种精确的热处理。这款RTP背后先进的技术设计使其能够快速操纵50°C至1300°C的温度。此外，该设备能够在短短两秒内做到这一点，使其成为快速处理许多不同材料的非常可靠的工具。AST Helios提供高质量、均匀的高纯度大气层底物热处理以及各种其他工艺大气层。该系统还能够在大型基片上保持良好的热均匀性，确保许多基片材料，包括金属、聚合物以及硅和硅基化合物的可靠和可重复的结果。此外，该装置还配备了先进的光学高温计和定制的金属卤化物弧光灯，可提供出色的工艺控制和监控水平，确保所有热处理都易于重复和准确。这进一步使用户能够监测和应对突然的温度变化，以确保基材在处理期间保持在最佳状态。该机也因其战略构造而具有固有的坚固性。其工业级减振器和精密的机械台式运动系统确保了该过程的准确高效地进行。总体而言,STEAG Helios是一款可靠且高效的快速热处理器,可用于各种材料加工和研究项目。它的精确度、速度、重复性和有效性，对于那些寻求可靠准确的热处理方法的人来说，都是值得投资的。
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