二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9219024 待售

STEAG/AST/MATTSON Helios是一款利用快速热处理（RTP）技术的快速热处理器。它是生产半导体晶片的高通量、高成本效益的工艺。AST Helios旨在在包括退火、扩散和氧化过程在内的多个应用中提供准确、可重复和高效的热处理。设备配置有集成就绪炉设计、多种测量能力和集成安全功能。STEAG Helios采用多功能炉设计，有两个加热区和两个冷却区，能够达到1100 °C的温度。处理器允许精确控制快速的热轮廓，温度转换为30至500 °C/秒，停留时间为10至60秒，适合快速精确的处理。此外，处理器的气体输送系统在大气控制方面提供了灵活性，允许产生氮气、氧气和氙气类型的大气。为确保机组安全，加工室配备了冗余安全测量，包括气体监测器、压力传感器、热电偶和密封门联锁装置。MATTSON Helios能够通过集成的光学高温计监控晶圆电位,精确监控腔室内的过程,并能够在设定点的2 mA范围内调节温度。该处理器旨在与其他设备集成,并利用独立于计算机支持的控制平台,从而能够轻松快速地配置所需的工艺参数。此外，处理器还配备了用户友好、图形化的用户界面（GUI），便于操作和控制。Helios是一款高效的快速热处理器,适用于半导体晶圆生产中的多种应用,旨在满足各种产品和工艺的最高质量要求。该机提供精确的温度剖面控制、安全特性、集成的光学高温计以及易于操作的用户友好的GUI,是快速热处理的理想选择。