二手 STEAG / AST / MATTSON Helios #9235480 待售

STEAG/AST/MATTSON Helios是一种快速热处理器,利用精确的热控制实现晶圆基板的高通量热处理。AST Helios是为满足最严格的工业计量要求而设计的，并且是唯一提供基板全自动精确放置和单个晶片快速退火时间的可用设备。该系统采用先进的跟踪技术来测量和跟踪基板在加工过程中的温度和位置。STEAG Helios是一款高性能的快速热处理器,包括退火模块和装卸模块。退火模块包括高分辨率差分扫描量热计（DSC）和感应加热单元，共同提供精确的温度控制。该机还利用先进的6轴运动控制平台在退火过程中精确定位样品，以及精密的软件来控制过程。Helios的装卸模块利用机械臂将样品从盒式磁带运到退火阶段，然后再运回。本模块还包括可识别样品位置并确保基板准确和可重复定位的集成视觉工具,以及用于确保样品完整性的终端效应传感器。MATTSON Helios还包括一个完全集成的环境室，用于自动大气控制。这个环境室有多个在处理过程中控制大气和气体流量的腔室，一个高压供气资产，以及可编程的温湿度控制。环境室还包括温度监测模型，用于监测室内环境的均匀性。最后,STEAG/AST/MATTSON Helios利用自动化的用户界面,提供易于使用的图形界面来控制设备。这个用户界面还包括一个集成的软件套件，允许在热处理周期中对数据进行捕获、远程控制和分析。软件套件还包括优化退火周期的工具，以及对温度和位置的实时监控。总体而言，AST Helios是一种高度优化的快速热处理器，为晶圆基板提供精确的热控制。该系统旨在满足最严格的工业计量要求，其集成的自动化和先进的软件功能使其成为高通量热处理的理想解决方桉。