二手 STEAG / MATTSON / AST 100 #9190168 待售

STEAG/MATTSON/AST 100快速热处理器是为各种研究和工业应用而设计的先进热处理设备。采用单级单室方法，在样品和基板之间提供快速热处理和直接热传递。系统使用电阻加热元件，其独特的架构提供了广泛的热和过程参数。这使设备能够满足各种热处理应用的要求。机器使用高温、低导热率的石英室，创造出热隔离的环境。热稳定性和低热质量是这种设计最重要的两个特点。腔室确保样品均匀加热，而其低质量和高导热系数保证了快速的温度响应。该腔室还允许快速加热和冷却循环，使其适合快速热处理和退火应用。该工具包括开发计算机、石英炉、电阻加热元件、温度、压力和流量传感器以及控制资产。它配备了用于温度控制的PID控制环路，以及额外的控制功能，如过程计时器、压力控制和过程监视器。该模型还能够控制额外的样品负载。该设备能够提供精确的温度控制和加热剖面，即使在极端温度下也是如此。它能够加工金属、聚合物、半导体材料等多种底物。它也可以用于RTP和快速退火，以及广泛的其他快速热处理应用。AST 100是先进热处理应用的理想系统。其单级、单室架构提供了极佳的工艺控制和极端温度下的热稳定性。其独特的设计还允许精确的温度控制和加热剖面，使其适合各种加工应用。