二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9139817 待售
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ID: 9139817
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
RTP System, 8"
System power: 43kw,208V, 60Hz
Software version: Windows NT4.0 SHS 1.42
Front door type: Auto
Chamber door type: Cylinder type
Carrier stage rotation: Rotation
Monitor front / rear: 2EA
Gem interface
4-Color signal tower
UPS System
(2) Gas inlet: Bottom
Stage assign Cool stage Dummy stage Process stage
Total: 5EA 2 1 2
Gas system Model Gas Name Scale
MFC1 Unit UFC-8160 N2 30L (A2093010302)
MFC2 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010702)
MFC3 UNIT UFC-8160 O2 10L(A2093010602)
MFC4 UNIT UFC-8160 N2 10L(A2093010802)
MFC5
IPC Module: Booting check
ILC Module:
Power Supply check
PWM Board 1,2 Check
POD Board check
INT Board check
MIB Board check
SEC Board check
EPC486 Hard drive check
Control rack 1:
EOCU(ECCU) Board check
BLCU Board check
MCU Board check
Power supply check (1~4)
Control rack 2:
LCCU Board check
LCL 1,2 Board check
SMB Board Check
SLSU Board 1,2 check
LVU Board check
LCU Board X2 check
WCU Board U check
TCA Module check
Control rack 3:
PCU Board check
PDCU Board check
PIO Board check
PDU Board check
PSU Board check
PVC Board check
PVU Module check
WVU Board check
DVU Module check
Robot:
Controller check
Moving check
Aligner:
Controller check
Align check
O2 Analyzer:
Display unit check
Sensor unit check
Pyrometer check
Terminal box check
Lamp: Fail check (1 ~ 38 )
2002 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon是一种快速热处理器（RTP），用于半导体和电子工业，用于设备处理的高效吞吐量。通过利用先进的冷热处理能力，AST 2800 Epsilon能够对设备结构和基板进行精密的热处理。它实现了高质量的结果，同时最大限度地减少了时间和成本。STEAG 2800 Epsilon设有两个独立的热处理室，每个室可达到高达1100 °C的温度。每个腔室还配备了最新的基板加热、冷却和热循环能力。这样就可以实现各种各样的热剖面。2800 Epsilon的精确度和精确度通过先进的温度控制系统和反馈探针来保证。在过程执行过程中,在腔室的顶部、底部和侧面提供温度读数,从而消除潜在的不均匀加热。MATTSON 2800 Epsilon的加工室中可以使用多种容器类型。这包括石英、铝、陶瓷和玻璃容器。腔室内的对准销防止容器在过程中旋转。两个腔室的工艺流体都可以过滤，以保护容器壁免受杂质的侵害。这是用各种过滤器完成的，如金属过滤器、膜过滤器和膜过滤器，可以就地安装。STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon的加热和冷却系统旨在提供快速、均匀的热处理。借助高性能控制器，两个腔室都能以极高的精度独立控制其温度和时序。这种同时设计可以节省时间和精力,从而实现更快、更高效的热处理。AST 2800 Epsilon还通过集成的数字控制系统提供远程监控和操作的灵活性,这些系统提供各种系统数据日志、关键错误警报和其他功能。它还提供了一个高级用户界面，便于使用。总体而言,STEAG 2800 Epsilon是一种先进的RTP,能够对各种基材和设备结构提供均匀、快速和精确的热处理。通过其强大的控制器、快速的热循环和简单的用户界面,它为设备处理提供了一个节能且经济实惠的解决方桉。
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