二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 Epsilon #9195879 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon是为高通量操作而设计的高级热处理器。它是一种紧凑、独立的仪器，具有单机平台，具有热壁炉、晶圆转移机器人和控制器。这款快速热处理器非常适合研究和生产要求,它利用精确的温度控制来确保结果一致。AST 2800 Epsilon采用热墙设计，配有24个高能石英灯。该装置用于快速热退火，提供均匀的热量分布在晶片上，以增强沉积均匀性。这些灯被放置在一个门控的配置，以允许更高的温度和更一致的均匀性。STEAG 2800 Epsilon可以达到600摄氏度的温度，并将温度控制精度保持在1 °C以内。MATTSON 2800 Epsilon中包含的晶圆传输机器人能够处理20mm x 150 mm晶圆尺寸，最大负载容量为50g。这种机器人确保晶片的可靠和准确的处理，即使在高速，为更顺畅和更快的样品处理。此外,2800 Epsilon还具有先进的温度和真空控制系统,旨在最大程度地减少热不均匀性。STEAG/MATTSON/AST 2800 Epsilon的高级控制器允许用户使用所有基本参数存储多达20种配方。这包括循环时间、轮廓设定点、冷却速率和其他关键工艺参数。用户友好的图形触摸屏支持简单直观的操作。AST 2800 Epsilon是晶片快速热处理的理想解决方桉。凭借其精确加热能力、自动晶片传输以及直观的控制器，这款快速热处理器设计出了最大的效率和准确性。