二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #293621529 待售

AST/STEAG/MATTSON/AST 2800是一种高速快速热处理器,利用先进的热处理和先进的冷却技术对先进的微电子材料进行精确的控制和处理。这项技术提供快速的热斜坡速率、精确的温度控制和严密的均匀性性能以及快速的冷却时间。AST 2800设计用于氧化物沉积蚀刻、扩散、退火、光刻、测试等多种高温应用。该设备采用独特的X-Y控制晶片定位系统，允许在过程周期中进行精确的热处理而无需外部运动。STEAG AST2800还具有四个先进的热区和四个垂直气体喷射缸，以便在过程中精确输送气体。STEAG 2800利用先进的微处理和仪器设备提供可靠、可重复的性能。微处理机以先进的温度、坡道和循环编程提供高速、精确的热控制。仪器工具提供温度、温度均匀性、SOI（目标表面）温度和气体压力的精确监测和控制。MATTSON 2800设计为在10级洁净室环境中运行。它旨在确保在非常严格的温度均匀性公差范围内实现准确和可重复的性能。该资产还能够处理各种基材尺寸，并与各种晶圆处理系统兼容。STEAG/MATTSON/AST AST2800提供多种温度控制方法,包括温度算法控制。该算法用于补偿时变热过程中热响应的差异。该模型还提供了一系列的温度调节方法，包括加热、冷却和智能温度控制。2800是先进微电子材料的先进热处理器。其高速、精确的温度控制，加上量身定制的热坡道和循环规划，使其成为各种高温过程的理想工具。