二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9038290 待售
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已售出
ID: 9038290
优质的: 1996
Rapid thermal processor, 2" - 8"
Includes:
(3) Cool down stations
(1) Dummy load station
(1) Touch screen
Automatic doors, foot control
Software: NT Windows
Mass Flow Controllers:
Brooks 5964 / 10 SLPM / N20
Brooks 5964 / 10 SLPM / Argon
Unit 8160 / 30L / N2
Brooks 5964 / 10 SLPM / Oxygen
Gas Plumbed: N2 – Argon – N2 – O2
Controller: EEOCU / BLCU / delta U1 / delta U1 / delta U1, 2 & 3 / delta U1 / MCU
Control rack extension board: LCCU / LCL / LCL / TCA
Pneumatic board: WCU / WCU / PCU / PDCU / PIO / PDU / PSU / PVC / PVU / PVU / WVU / DVU
PMW Generator: Delta V 1-4 / PWM 1 & 2 / POD / INT / CB / MIB / GPC 486 Connections / SEC
Heating unit: PWD
PRI Robot: ATM-305010S & PRI Controller ESC-200
Brooks Pre Aligner PRE 201
EMO Front & Rear
Optical Pyrometry
Vent pressure monitoring
DC Stabilization
Single lamp control
Open loop control
Thru the wall
208 V / 60 Hz / 3 Ph / 43 kW
1996 vintage.
STEAG/MATTS/AST 2800是一种快速热处理器（RTP），设计用于研发和晶圆生产。它是一种多模工具，能够进行氧化、退火、扩散、溅射等几种热过程。AST 2800利用两个工艺室，一个装有感应线圈，另一个装有红外源，每个都是独立控制的。STEAG AST2800的主要特点是高温和快速处理能力。线圈和红外光源能够利用快速热处理将晶圆或基板的温度分别提高到1000 °C和1500 °C。较高的加工温度允许快速而精确的底物修改，如硅化和相变。MATTSON 2800还配备了先进的控制系统。它采用Vacuumschmelze先进的微处理器技术进行设计，在最小的操作员干预下实现精确的温度和时间控制。先进的控制系统还有助于在整个过程中保持温度的均匀性，从而确保最终产品的均匀性。此外,STEAG/MATTSON/AST AST2800是一个多功能系统,能够同时执行多个进程。它有一个双快速热区，可以同时进行两个过程。此功能允许有效利用时间和资源,因为处理吞吐量可以通过同时执行多个进程来大幅提高。AST AST2800还配备了一个全面的软件平台,能够轻松操作。软件平台提供实时的过程控制数据、详细的晶圆历史跟踪、配方和过程存档。这样可以确保晶片的顺利处理和更好地控制每个工艺的参数。总体而言,AST2800是一款可靠且高度先进的快速散热处理器,可提供卓越的精度、温度可重复性和吞吐量。由于其高温、快速循环和彻底的过程控制功能,它对于各种应用程序和过程极为有用。
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