二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9092796 待售

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STEAG / MATTSON / AST 2800
已售出
ID: 9092796
Rapid thermal annealer.
STEAG/MATTS/AST 2800是一种快速热处理器(RTP),用于半导体器件的快速热退火。该设备采用高效传热系统,保证了精确、均匀的温度分布。该机配备了先进的控制系统,以监测和维持理想温度。该机设计为在整个晶片上提供均匀的温度剖面,并配有先进的温度剖面工具,以保证热均匀性。资产先进高效的热模型采用多级传热阶段,达到理想温度。通过这种配置,设备可以加热最大500 (w mm)/100 (w mm2)的宽表面积。该系统设计为热质量低,可最大限度地减少热响应时间,以提高吞吐量和快速处理速度。该单元还设计了多项安全功能。这包括故障安全的环境控制机器,它允许工具在非典型的过程环境中安全操作。它还具有自动关闭系统,确保在发生紧急情况时资产关闭,以及用于检测和检测过程气体异常的压力传感器。在性能方面,该模型具有高效的温度控制设备和高效的温度曲线。它还专门设计用于允许在整个过程中具有很高的可重复性和准确性。此外,系统采用模块化设计,可以在几秒钟内在不同退火技术之间过渡。总体而言,AST 2800是一款用途广泛且高效的快速散热处理器,旨在提供卓越的性能和可靠的操作。它具有强大的安全特性、先进的热控制和高效的传热装置,非常适合广泛的半导体应用。
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