二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9154640 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 9154640
晶圆大小: 6"
Standalone RTP system, 6"
208V 43KW
Robot: ESC-305
Aligner: PRE-200
Gas line: 6 lines
IPC O/S: WIN 2000
(38) Lamps
Pyrometer : Dr Maurer
ILC version : ILC3
SHSp software ver : 1.6.1.
STEAG/MATTSON/AST 2800快速热处理器(RTP)是实验室中对各种材料进行快速精确温度控制的设备,从薄膜和半导体到金属和聚合物材料。AST 2800提供快速加热和精确的温度控制,反应室温度高达1300 °C (2370 °F)。该装置是一种惰性大气、集成、N2环境配置紧凑的处理器,带有20英寸垂直或水平石英管。加热设备是18kW感应/微波频率,允许在10分钟左右从室温到最高温度的单程加热。温度最大变化率高达800°C/min。该装置还配备了用于控制氧化和氮化过程的先进气体给药系统。STEAG AST2800可在开放或封闭循环中使用,具体取决于工艺,温度用铂金电阻温度计监测和控制。该装置还可用于使用热电诊断探针原位测量材料特性,如电阻、发射率、电导率等。该单元由计算机接口控制,用于数据输入、输出和编程,并具有完整的机器管理和连接。STEAG 2800还具有一些防止过热和元件烧坏的安全功能,例如自动关闭和/或可编程过热保护。该装置由于温度精度高,热控精度高,特别适合材料研发。总体而言,MATTSON AST2800 Rapid Thermal Processor是一种先进的设备,可为实验室提供各种材料的温度控制方面的高度精确和提高的速度。其特点,如快速加热、气体剂量工具、安全特性,使2800成为可靠高效的研发工具。
还没有评论