二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9185557 待售

STEAG/MATTS/AST 2800是一种快速热处理器（RTP），设计用于高温退火和光刻工艺。该设备采用高功率微波源和专门设计的石墨敏感器，以实现薄膜材料的快速局部加热。RTP提供50-600°C范围内的均匀温度剖面，最大热暴露时间低至2ms。它还能够在各种尺寸不超过2mm的小型样品中重复温度分布。该系统采用了一个专门设计的应用室，配有符合人体工程学的样品密封装置。这为快速处理提供了一个高效、安全的环境，并有助于确保精确的温度控制而无需样品移动。为进一步提高精度，该机采用了一系列精确的运动控制元件和反馈机制。单机CCD成像工具可用于监测热处理过程中的样品进展。光学资产具有广阔的视野（最大40°）和较大的像素大小,允许快速变化的热特性的高分辨率成像。此外,高动态范围模型允许对多个区域进行温度映射。RTP兼容多种创新的薄膜材料和应用。适用于多晶硅、氮化硅、二氧化硅等材料进行高温退火和光刻工艺。此外，它还非常适合进行快速瞬态温度实验，以测量各种薄膜的热冲击，并快速确定各种热处理技术的最佳退火时间。最后，开发了RTP，以提供出色的设备稳定性，具有高度的控制精度和结果的可重复性。该系统还具有低功耗和低噪声操作功能，非常适合敏感实验室应用。