二手 STEAG / MATTSON / AST 2800 #9244813 待售

STEAG/MATTSON/AST 2800是一种快速热处理器,旨在为材料提供全自动热处理解决方桉。该处理器为一系列半导体工艺提供了先进的热均匀化、氧化/还原功能以及快速热循环。其高速数据收集和报告系统确保了结果的可重复性和改进的系统控制。该快速热处理器由GaAs晶片加热器、热电冷却器、H-Bridge控制器、应用控制和过程监控组成。使用这些组件,处理器能够在处理和退火周期中为单个或多个晶片提供高级热调节。它提供精确的温度规划,范围从-160°C到+850 °C。在整个周期中,通过高精度的温度控制来实现整个晶圆的低热梯度。处理器在一次运行中最多可容纳9个堆叠的晶片或基板,或以12种不同的速率和能量进行多次运行。此外,集成传感器还提供实时数据来监视热过程,从而实现更严格的过程控制。此数据还可用于更新流程参数和创建预测模型以获得最佳流程结果。系统配备了AutoTune软件，帮助优化的不仅是核心工艺参数，还有加热器类型、加热器功率、加热器速度。另外，选择性边缘加热功能有助于加热晶圆边缘的钝化，从而防止介电完整性问题。AST 2800的自动化系统控制和监控能力使其成为光伏和LED生产中快速热处理应用的理想选择。多合一设计简化了设置、操作和过程验证,并确保了可重复和可靠的结果。此外,该处理器还可以与现有生产线集成,从而实现温度感测和控制的完全集成。