二手 STEAG / MATTSON / AST 2800E #9103115 待售
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ID: 9103115
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8"
Single chamber
(2) Loaders
(2) Unloaders
DC Power supply output stability: < 0.2 % at main power
Open cassette, 8"
Cassette rotate: Load / Unload position disable
Wafer transfer: EQUIPE Robot
Flat aligner: EQUIPE Aligner
Operator panel: Touch screen LCD, 12"
Operating system: Windows NT
Process temperature range: 550°C ~ 1150°C
Temperature reading sensor: Pyrometer
O2 Contamination measurement sensor
Gas lines:
N2 (30 slm)
O2 (500 sccm)
Ar (10 slm)
NH3 (10 slm)
Air valve
MFC
Filter
Regulator
Signal tower
Power supply: 208 VAC ±6%, 125 Amp, 3 Phase + PE 43 kVA
1994 vintage.
STEAG/MATTSON/AST 2800E快速热处理器（RTP）是开发和测试各种封装设备的一站式热处理解决方桉。该设备具有广泛的工艺温度（200-1000 °C）、快速的循环时间（低至3秒）和可靠的温度控制,可提供可靠性和一致的性能。RTP专为易于使用而设计,具有两个独立的温度区域,一个PLC控制系统,以及具有自动配方选择功能的直观软件。该设备经过CSA认证,符合SEMI E 63和E77标准。机器的模块化设计使得它非常适合各种应用，包括：RTP-LIN高达1000 °C；工艺优化调试；HTOL电热应力测试（HTEST）；OTA Studies；EMISS/CIS测试；和模对模互连。具有直观用户界面的LED显示屏，对所有参数的全面监控，灵活的编程功能，为用户提供实时监控能力。RTP可调整为一系列配置选项,例如晶圆大小、各种处理室和自动加载/卸载系统。集成真空泵机构可实现高达1000 °C的工艺温度。RTP采用了专利的"一对一"对流外套，其中内部温度曲线与传统的、有限的腔室设计非常均匀。使用此临界腔可确保整个晶片的温度变化小于0.25 °C。RTP还配备了先进的电气清洁工具，以避免离子粒子和水的任何污染。排气装置采用自动除滤和A/C冷凝器分离。RTP配备了"仅干"保护，避免使用液体冷却。RTP还附带了一系列流程选项：RTP-HTOL、RTP-STOL、RTP-HTOLES、RTP-LINC、RTP-TABLE、RTP-HSO。这些选项可用于各种工艺组合,如高温坡道、高达1000 °C的高真空快速热退火、电迁移、HTOL、高达1000 °C的单晶片快速热处理、用于加热和冷却的低温烤箱。总体而言,AST 2800E快速热处理器是满足各种热处理需求的可靠解决方桉。它具有高温度性能,循环时间快,温度控制可靠,性能高,设计可靠,可重复执行。
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