二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9182434 待售

STEAG/MATTSON/AST 2900快速热处理器（RTP）是一种先进的高温处理工具，设计用于各种高温过程。RTP能够快速达到300 °C至1200 °C的温度范围（视特定型号而定），最大斜坡速率为300 °C/秒。该系统由四个主要组成部分组成：输送机、炉膛、热处理器和冷却站。RTP输送机设计为可接受各种基板尺寸,其定制设计可用于容纳非标准基板。输送机提供了一种可靠、可重复的材料通过RTP热剖面传输的方法。输送机的运动通过闭环微处理器进行控制,该微处理器具有速度、加速度/减速和方向的可调设置。最大皮带速度超过630毫米/秒。44英寸长的炉膛能够容纳多种尺寸的基板，并装在内部绝缘3英寸的水冷石英管内。炉膛和基板随着温度的升高和降低而封闭在炉内。该炉达到300 °C至1200 °C的温度范围，精度为+/-1 °C，能够实现高达300 °C/秒的快速温度斜坡。RTP热处理器配备了三个独立控制环路的套件。每个回路都保留对自身参数如温度、浸泡时间和坡道速率的控制。三个控制环并行运行，可以针对每个基板尺寸和工艺分别进行调整。RTP允许多种温度配置文件,具有可调节的停留时间、预先清除的气氛和修剪的气氛,允许适用于广泛应用的多功能配置。最后，冷却站设计为在从RTP排出之前，将材料冷却到安全、合适的处理温度。冷却速率是可调的,允许不同的冷却型材适合特定的应用。总之,AST 2900快速热处理器是一种高度可配置、可靠且可重复的处理工具,适用于各种高温过程。其先进的特点和温度范围使其成为各种制造应用的绝佳选择。