二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9224563 待售

STEAG/MATTSON/AST 2900是为优化过程开发和性能而设计的高端快速热处理设备（RTP）。它具有快速热退火（RTA）和快速热氧化（RTO）两个阶段的过程，为用户提供了快速控制加工参数和优化工艺的灵活性。该系统非常适合在一系列与微电子、电子包装和半导体制造有关的专门工艺中的商业、原型和研究应用。AST 2900为用户提供了令人印象深刻的处理能力和速度组合,使他们能够快速调整参数并高效地完成处理任务。该装置上的TPA温度室设计为温度均匀性和柔韧性。它具有高达150°C/sec的可调加热速率，可在高达1000 °C的温度下进行快速热退火（RTA）或快速热氧化（RTO）。其温室均匀对比度≤1.25°C，温度均匀度（TU）为2.25 °C或更高。机器使用闭环气体分析单元检测和调整快速热氧化（RTO）所需的氧气流入。这种独立的热和气流控制工具非常适合降低氧气/氮气的通量速率，将除气降至所需的消耗水平，以准确确定TOX和RTO的要求。STEAG 2900的快速热处理能力进一步得到其工艺和炉控制参数的可编程选择的补充：静态压力控制、高压气体控制、温度、气流、安培/功率控制和频率控制。此控制选项范围允许用户调整进程以获得最佳结果。该资产还具有高级数据记录和绘图功能,旨在早期监控模型性能并检测流程异常。用户友好的图形用户界面（GUI）提供对RTP过程的实时监控,从而实现快速有效的诊断。总体而言,2900是一款高效可靠的快速散热处理器,非常适合高级原型开发、工艺设计和商业生产要求。它具有广泛的高级过程控制设置、温度均匀性、氧气流入调节和数据记录功能,允许用户高效优化流程以获得最佳结果。