二手 STEAG / MATTSON / AST 2900 #9278283 待售
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SteamSTEAG/MATTSON/AST 2900是一种快速热处理工具,在非常低的循环时间内提供超精确的热循环和快速的温度倾斜。这台设备可以在3至10秒内达到200至1000 °C的设定点,同时保持1°C的精度。这允许精确的温度剖面校准和控制,这在传统的炉灶或烤箱系统中几乎是不可能的。该系统是分子束外延、金属有机化学气相沉积、材料研究、半导体互连、先进金属-绝缘体-金属互连等RTP应用的理想选择。SteamAST 2900利用先进的PID曲线学习算法来规划最佳温度斜坡时间,并在给定温度下提供超低循环速率。先进的控制单元可实现整个过程的最高温度稳定性和准确性。此外,该机器还配备了一个独立的气体输送工具,最多可配置三个通道,用于各种气体,包括氢气、氮气、氙气和其他气体。控制资产还允许对气流和压力进行非常微调。SteamSTEAG 2900的热循环不需要任何硬件修改或后工艺工程。此模型使用自动化流程来创建最符合该流程用户规范的温度配置文件。由于其先进的热区设计,该设备在整个过程中还提供了出色的温度均匀性。该系统还具有一个令人印象深刻的显示屏,它以图形方式表示了整个过程中的温度概况以及气体流速等其他数据点。显示器还提供高级后处理功能,如关键数据点的实时分析、图形和统计分析工具以及存储和共享结果的能力。总体而言,Steam2900是一款功能强大的快速散热处理器,提供卓越的温度稳定性和准确性、超快的循环时间以及用户友好的功能,使其成为生产半导体和光伏设备的理想工具。
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