二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 plus #9281776 待售

STEAG/MATTSON/AST 3000 plus是一种快速热处理器（RTP）,它利用从室温到1500˚C的各种温度组合。这项技术用于半导体器件制造，因为它能够在预定的温度和时间尺度下进行热处理。该RTP采用模块化方式，由三个组成部分组成，包括高级工艺控制、鲁棒热室和高效对流系统。Advanced Process Control允许对精确的温度程序进行编程以获得所需的结果。它在较短的样品处理时间内提供精确的温度测量，最大限度地减少样品中的残余应力，并允许由于其高热精度而产生可重现的结果。坚固的热室包括一个大的高性能加热区，一个可移动的墙壁确保均匀的热处理，其相互连接的部件允许在宽广的温度范围内编程过程控制能力。最后，高效对流系统允许在高温下快速进行热过程，而不会引入任何运动伪影。AST 3000 plus允许非常精确和一致的高速率处理。设备的适应温度范围允许它用于各种应用,如晶圆沉积/蚀刻、设备制造和ALD/CVD工艺。高速率处理和改进的热系统使得该RTP成为任何需要精确和可重复热处理的组织的理想选择。此外,此设备能够长时间保持高温,而不会影响操作员的安全。