二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293615440 待售

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图为 已使用的 STEAG / MATTSON / AST 3000 待售
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快速退火/快速热处理
製造商
STEAG / MATTSON / AST
模型
3000
ID: 293615440
Rapid Thermal Processor (RTP), 8"-12" (2) FOUPs (3) Cassettes, 8" (2) Combined and integrated SMIF, 8"-12" (3) Side panels (3) Upper quartz plates (2) Linear plates (8) Gas distributors (4) Air bearings (2) Roter, 12" Ring carrier, 8" Rotor plate, 8" Rotor, 8" Ring deflection frame Chamber U, Q, P Static with ring tilt Blower: 0.93 m² Pyro chiller SIEMENS DC Power supply, 24 V Process module Power control module: 1.04 m² Computer electronics Footprint, 4.19 m² Rack Da-Karte HDD CPU MUX-DAC-DSP PyRi-PCC Netzteil 2x15V Netzteil 5V Netzteil ±12V/5V Netzteilter C64-Busplatine ISA 36 Bus 3 Slot Wafer handler module: I/O Controller Distribution box Gas cabinet: Pressure: 6 Bars Purity N2: >99.9999% Purity O2: >99.9999% Gas / Flow rate: O2 / Ar / 50 SLM NH3 / 30 SLM H2 / - O2 / 5 SLM O2 / 60 SLM N2O / 30 SLM N2 / 100 SLM Missing parts: Robot Aligner Pyrometer Control Oxygen sensor PCU Parts PWM / POD boards.
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STEAG/MATTSON/AST 3000是一种快速散热处理器,它为精确和精确的散热管理过程提供最高级别的性能。该处理器专为高精度、高速热处理而设计,以满足各种应用程序的需求。它具有广泛的特点，包括多个温带、高分辨率热流监测、精确的温度控制。处理器可以手动和自动两种模式进行控制,以适合任何应用程序。温度区可以根据应用的需要进行编程，并具有精确的温度控制，确保在整个热过程中保持正确的温度。处理器还有一个高分辨率的热流监测系统，允许精确控制系统内的热流。处理器还具有强大的设计,可以在恶劣的环境中工作。它可以使用多种材料，包括金属和塑料，在这些材料中提供精确的热处理。处理器还具有优化的传热系统和较大的冷却能力，确保材料在适当的温度下处理。AST 3000在各种热过程中提供了高精度和精确度。处理器还具有经济效益,为各种应用程序提供了理想的解决方桉。处理器可用于多种工艺，包括金属、塑料和半导体器件的热处理。处理器也是产品制造中材料加工的理想选择,确保保持最高精度。STEAG 3000是一系列需要精确热处理的应用的绝佳选择。处理器设计为提供精确准确的热管理过程，允许在各种应用中实现最高级别的性能。处理器还具有经济效益,为各种应用程序提供了理想的解决方桉。
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