二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293621528 待售

STEAG/MATTSON/AST 3000是一种快速热处理器,用于对各种尺寸的基板进行高效、均匀的加热。此设备是一个四区快速热处理器,具有高达1000摄氏度的温度范围、+/-1摄氏度的温度均匀性以及高达10摄氏度/秒的加热速率。通过高温和均匀性、短编程时间和灵活性的结合，这种设备提供了一种有效的热处理方法。AST 3000的四区设计允许不同区域独立加热或组合加热，增加了设备的灵活性。顶部和底部的热头包括温度感测元件,这些元件向控制系统提供反馈,从而可以准确地维护和监控温度。垂直腔室配有一个氮气净化端口，允许各种大气，包括惰性选项。有一个可选的加热器,它提供一个炉子环境的选项.利用先进的探针和传感器以及先进的控制系统可以实现高度精确、可重现和均匀的热处理。这款快速热处理器还具有直观的操作员界面，具有一系列参数，包括温度、速率和温度持续时间，以及惰性大气处理程序的其他用户定义过程和气压。STEAG 3000具有易于使用的触摸屏控制器,允许自定义处理以满足各种要求。这种直观的控制系统能够执行复杂的高温过程，控制多个过程参数，并提供数据记录和过程优化。总体而言,MATTSON 3000的功能使其成为任何需要快速、均匀和高温加热基板的应用的理想选择。这种用途广泛的设备旨在提供精确的热处理,并提供无与伦比的可重复性和灵活性。