二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #293814736 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是专为生产级半导体器件制造而设计的快速热处理器。它旨在尽可能缩短循环时间,同时保持处理过的设备的质量。AST 3000采用了预调整室,该室设计用于快速、精确地加热和冷却所需的基材,以满足高通量要求,而不会影响性能。机器能够将基板加热至1250C的温度，以适当刺激设备制造所需的反应。STEAG 3000采用高温环境，最大限度地减少由长周期时间造成的设备损坏。这是通过利用多段热程序将热剖面连续微调到该过程所需的精确温度来完成的。温度控制器还可以防止热过火造成基板沉积或氧化。3000利用双射频电源,在两个频率之间快速切换,以实现最大的热均匀性。MATTSON 3000还具有内置的过程监控系统,该系统可不断检查每个基板的状态,以确保尽可能高的吞吐量。这包括在整个过程中持续监测基板温度、气流和压力。该系统还包括高精度计量工具，以确保满足所需的过程结果。STEAG/MATTSON/AST 3000附带了一系列用户可编程选项,这些选项允许在不同的机器之间轻松传输过程配方。这使得多种流程方桉成为可能,并有助于确保跨多台计算机的流程可重复性。此外,AST 3000还可配备各种边缘隔离选项,包括氮、氦和氯隔离,以确保高产量。总体而言,STEAG 3000是一款功能强大、可靠且高效的快速热处理器,非常适合生产级半导体器件制造。它提供了易于使用的用户界面以及可自定义的顶级性能和输出流程配方。它的许多特点，包括温度控制和过程监控，使其成为繁忙的半导体制造商的绝佳选择。