二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095994 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是一款先进的快速热处理器,旨在在短周期内提供可靠的处理结果。它具有高温、高功率的加热能力，能够在不到十秒钟的时间内将三个150毫米晶圆载流子加热到高达1100 °C的温度。使用较大的晶片表面积会产生极其均匀的加热效果,而使用最新的快速"冷却"技术则可确保过程之间的快速周转。这个先进的快速热处理器利用三个区域；高温、中温和低温室系统，旨在提供均匀的温度和温度寿命，进一步提高加热功能的可靠性和准确性。其低漂移和低热梯度确保零件被精确和精确地加热到所需温度。除了提供高温、高功率处理外，AST 3000还提供过程监控功能，确保过程温度和时间控制到非常精确的水平。它还具有精确的时间温度监视器,使用户能够考虑与每个过程关联的时间温度数据。此外,该设备还能够对最多999个脚本进行编程,这些脚本可以存储在预编程过程中使用。STEAG 3000的坚固设计确保了它的可靠性和低维护要求。其不锈钢加工室耐腐蚀耐磨，该装置不需要工艺冲洗或水再循环。此外,用户友好的LCD触摸屏显示屏可以清晰监控快速散热处理器的状态和设置,并提供一系列功能,方便快速输入、操作和存储数据。此外,MATTSON 3000还配备了与安全相关的功能,如门联锁、晶圆载体联锁、温度过高联锁、超压警告等。这样可以确保操作员放心,在执行关键操作时设备将保持稳定和可靠。总体而言,3000是一款先进的快速散热处理器,旨在满足现代工业生产的苛刻需求。它结合了高温、高功率加热能力和过程监控能力、用户友好的液晶触摸屏显示屏，以及高可靠性和安全相关功能，使其成为任何生产环境下都有吸引力的设备。