二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9095995 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是一种快速热处理器（RTP）设备，用于处理半导体晶圆。这一通用系统旨在提供高度均匀的温度控制和精确设计的热过程，以成功地注入离子，以及广泛的其他半导体和光电应用。该装置非常适合用于生产基线工艺的开发，保证了快速热退火（RTA）的精确温度环境以及重掺杂硅材料的炉退火。该机器在各种温度范围内提供高速加热和冷却能力。使用旋转敏感器可确保样品内热量的均匀分布。它能够维持高达1150°C的温度。温度均匀性保持在+/-2°C,并在晶圆的顶部、中间和底部表面进行测量。该工具还具有实时监控功能，以确保快速响应时间。总体而言,AST 3000为生产和开发过程提供了全面的热处理能力。它具有坚固的腔室结构，旨在确保易于维护，以及用于精确温度控制的可靠电子设备。它与各种环境和工艺配方的兼容性使资产对研究实验室和加工中心都具有吸引力。该模型因其获得专利的软件算法而进一步脱颖而出，该算法提供了先进的温度补偿，并在整个晶圆上保持了均匀性和准确性。STEAG 3000带有有限的3年保修,包括远程计算机界面和图形用户界面（GUI）。这样就可以与工厂自动化系统完全集成,并能够在本地和远程访问设备。RTP还配备了诊断和故障管理功能，在需要时便于检测、诊断和执行纠正措施。总而言之，MATTSON 3000是一款先进的快速热处理器，适用于各种半导体和光电应用。它强大的设计、精确的温度控制、实时监控以及与各种环境的兼容性,使其成为生产和开发过程中的一个有吸引力的选项。