二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9224637 待售

STEAG/MATTSON/AST 3000是一种快速热处理器（RTP），用于处理具有高重复性和精确度的半导体晶片。这种先进的系统专为制造高质量和可靠的集成电路（ICs）而设计,即使是最复杂的设备也非常适合处理。该RTP由加热室、温度控制器、装卸站、保护外壳、晶圆传输机器人和晶圆卡盘等几个主要部件组成。AST 3000主加热室由不锈钢制成，具有良好的热稳定性和均匀的温度分布。其温度范围为-70 °C至1000 °C，加热和冷却速率高达200 °C/秒。RTP被封闭在自己的保护柜中，以确保操作和维护人员的安全。温度控制器被编程为精确调节腔室温度曲线，并在一次运行中运行多个坡道温度。处理器操作简单直观,配有LED显示屏和用于输入命令的完整QWERTY键盘。控制器还配备了冷却和工艺气体流动传感器，以实现精确可靠的性能。除了加热和冷却元件外，STEAG 3000还设有晶圆装卸机械臂。该臂被编程为将晶片从存储托盘移动到晶片卡盘，反之亦然。晶片卡盘经过特殊设计,可确保晶片的安全处理,在快速加热过程中提供支持和对准。为了提供额外的保护，晶片进一步用通风的盖子固定，该盖子还起到湿度和颗粒屏障的作用。MATTSON 3000是一个高级RTP系统,旨在实现最高的效率和可靠性。其坚固的结构确保了均匀的加热、冷却和晶圆处理，使其成为那些寻求高质量IC制造的人的理想选择。