二手 STEAG / MATTSON / AST 3000 #9262640 待售

STEAG/MATTS/AST 3000是为高性能应用而设计的快速热处理器（RTP）。是一种先进的热处理系统，利用红外灯和热气相结合的方式，快速提升和降低基板或其他材料的温度。使用AST 3000,用户可以在传统方法要求的时间的一小部分内达到广泛的温度范围。STEAG 3000的设计具有两个腔室的独特配置：一个冷区腔室和一个热区腔室。冷区室位于设备的上半部，是供热制冷的活跃区域。腔室设有直接加热的红外灯、可编程用于各种气体溷合物的气流系统以及低温冷却的低温储藏。热区室位于设备的下半部分，用于退火和热处理基板。热区室装有类似窗帘的防辐射罩和加热元件以及一系列耐热光学窗。3000的软件包括用户友好的图形控制,可以清晰地显示热过程。该软件能够对温度曲线和控制参数进行高效和可重复的编程。MATTSON 3000还配备了实时温度监测系统，可以对工艺参数进行全面表征和优化。STEAG/MATTSON/AST 3000是快速热处理的可靠工具。它能够在传统方法要求的时间的一小部分内加工材料，而且它的设计允许精确和可重复地控制加热和冷却速率。这个先进的工具提供了一个快速和可靠的方式来处理晶圆和其他基板有极端的温度变化。