二手 STEAG / MATTSON / AST AST 280 #293651451 待售

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快速退火/快速热处理
製造商
STEAG / MATTSON / AST
模型
AST 280
ID: 293651451
优质的: 2000
Rapid Thermal Processor (RTP) 2000 vintage.
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STEAG/MATTSON/AST AST 280快速热处理器是一种高性能的工具,可快速、准确、高效地处理各种材料。它是一个多功能、低成本的系统，结合了精密的软件控制系统、超快的热处理以及精密的基板和晶圆加热。AST AST 280利用快速热加热（RTH）技术使基板和晶片的快速精确加热成为可能。此RTH过程从快速预热循环开始,以确保基板或晶片均匀回火。接着是一种脉冲加热形式，在一系列非常精确控制的步骤中加热基板或晶片，使每一层和材料都能用最佳处理所需的确切能量进行处理。STEAG AST 280确定每个步骤的精确温度曲线的能力确保了更准确和可重复的结果。AST 280还配备了高端控制系统，利用从基板或晶圆收集的智能反馈准确控制每个循环的温度。这提供了整个样品表面和厚度的卓越均匀温度水平。还消除了"热点"的可能，确保热处理一致可靠。MATTSON AST 280还具有高级控制算法,可在加热周期之间以最小的停机时间实现可重复的过程步骤。它还保证保持热分布在基板或晶片的宽表面平衡。该系统具有快速启动功能,只需几分钟即可达到所需温度。STEAG/MATTSON/AST AST 280可以处理多种材料，包括用于半导体和照相加工、薄膜沉积和生物化学应用的材料。也用于製造印刷电路板、激光器等产品。AST AST 280的设计考虑了人体工程学,它具有小巧轻巧的设计和直观的用户界面,易于使用。该系统易于维护，使其成为工业和教育应用的可行选择。此外，其保质期长，运营成本低，是研发实验室的理想选择。
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