二手 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #293820854 待售

STEAG / MATTSON / AST AST 2900
ID: 293820854
Rapid Thermal Processor (RTP).
STEAG/MATTSON/AST AST 2900是一种常用于半导体製造的快速热处理器。AST 2900提供高级热处理功能,旨在满足业界要求最苛刻的封装、晶圆级和3D应用程序的需求。随着温度均匀性的提高和温度范围的扩大,STEAG AST2900被设计为提高产量和提高吞吐量。STEAG/MATTSON/AST AST2900可输送温度从-60°C到超过1000°C。设备还配备了先进的晶圆识别系统,能够快速识别和处理高达600mm的晶圆。通过高热性能和快速晶圆识别相结合,MATTSON AST2900可以实现快速处理时间,让用户效率最大化。AST2900还提供了先进的热均匀性,以实现均匀、可重复的处理结果。STEAG/MATTSON/AST 2900配备了能使温度适应晶圆边缘的高级动态均匀性优化(DUO)单元,以及低热变化检测机,以提高准时测量的精度。这些技术确保了整个过程中均匀的晶圆温度。AST AST 2900也很灵活,有一系列的工艺配方和能力。2900可以处理LED、逻辑、内存和电源设备,以及从6"到12"的各种晶圆大小。该工具还可以配置多个独立的处理室,以实现并行处理功能。AST AST2900还与N2、O2、SF6、氦等多种工艺气体兼容,允许广泛的处理能力。STEAG 2900是一种可靠、灵活、先进的资产,可以满足半导体行业的需求。它具有广泛的功能和先进的功能,是要求苛刻的晶圆处理应用的绝佳选择。MATTSON AST 2900凭借其温度均匀性、快速性能、灵活的配置,是一个出众的选择。
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