二手 STEAG / MATTSON / AST AST 2900 #9266541 待售

STEAG/MATTS/AST AST 2900是一种高性能快速热处理器（RTP），设计用于半导体晶片的高级处理。它能够在外延生长、掺杂活化和退火等应用中提供卓越的热能和速度性能。AST 2900能提供无与伦比的温度控制精度和重复性，使处理具有很高的可靠性和可重复性。它是一种水平安装的设备，配有独特的守卫加热器设计，确保整个晶圆直径均匀均匀加热。STEAG AST2900能够在保持良好的热调节的同时,加热速率高达5°C/秒,冷却速率高达30°C/秒。STEAG 2900具有气体输送系统，具有快速交换歧管和质量流量控制器，允许客户使用各种气体进行各种处理。为确保操作过程中的安全,STEAG/MATTSON/AST 2900具有接地故障中断器和具有自动关闭功能的两级安全阀控制系统。MATTSON AST2900还配备了最先进的计算机控制单元，为用户提供自定义温度配置文件和设定点以及监控机器和验证操作条件的能力。AST AST 2900是一款先进的快速热处理器,具有出色的温度精度和可重复性。它具有快速加热和冷却速率、精确的气体输送以及强大的安全工具。由于拥有计算机控制资产，用户可以灵活地自定义参数以适应高级流程。MATTSON AST 2900是半导体加工和外延生长、掺杂活化、退火等先进应用的理想选择。