二手 STEAG / MATTSON / AST AST 3000 #9103112 待售

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快速退火/快速热处理
製造商
STEAG / MATTSON / AST
模型
AST 3000
ID: 9103112
Rapid Thermal Processing (RTP) system, 8" Single chamber (3) Loaders (3) Unloaders 2000 vintage.
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STEAG/MATTS/AST 3000是一种快速热处理器（RTP），设计用于半导体的大规模热处理。RTP是一款具有高速、高精度温度控制的可扩展、经济高效的设备。该装置为技术人员提供各种工艺条件，最多可容纳三种基材。RTP利用有效的加热元件和数字温度控制器在整个过程中实现均匀的温度。系统内置的单元一致性功能确保了过程的可重复性和可靠性。该工艺室的设计旨在减少污染，并允许受控的加工条件，如压力和氧气水平。RTP配备了一台健壮的监控机器，跟踪温度、压力和氧气水平等处理参数。该工具的高级控制资产使操作员能够精确地控制过程，从设置腔室温度到调整加热速率和冷却速率。控制模型也是自动化和交互式的，使操作员能够实时设置和调整控制面板上的所有处理参数。RTP利用用户友好的图形用户界面（GUI），使操作员能够方便地监控进度和过程参数。此外,设备还提供了一系列配方,使操作员能够根据特定应用程序的需要快速调整设置和参数。RTP的详细监控系统和可编程性使其成为处理半导体晶片的可靠有力的工具。通过促进简化和可重复的输出,RTP有助于提高产量、减少错误和提高效率。该单元具有很高的可扩展性，可适应工艺转移，为多种基材和晶圆尺寸提供灵活性。
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