二手 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9229578 待售

STEAG/MATTS/AST Atoms是一种快速热处理器（RTP），用于半导体工业中，用于薄膜沉积、氧化、退火和金属溅射沉积等工艺。该设备采用了一系列专门的温度控制技术，以极好的均匀性快速达到所需温度。该系统配备了石英垂直管炉（QVTF）和向上或向下的气体流动能力，这两者都有助于确保整个感兴趣区域的统一和准确的温度控制。QVTF是一种垂直石英管，其独特的设计方便了晶圆或其他基材的高效加热和处理。立式管式炉安装在低热质能平台上，提供优异的温度均匀性和快速的温度变化率。一个空气强制对流（AFC）模块也包含在单元中。AFC模块将气流和有限的气流结合在一起，提供所需的基板加热。与传统系统相比，当处理过程中在基板周围产生湍流时，这增强了过程中的温度均匀性。机内温度的控制和监控是通过包括高功率放大器、微处理器、热电偶、温度传感器和高级软件程序在内的一系列先进组件完成的。这些组件在控制温度时提供极好的精度。AST Atoms提供多种温度配置文件,包括单区域处理、最多八个受控区域以及多达200种配置。在一个平台上同时运行不同处理程序的可能性使得该工具非常适合多种处理需求。此外，STEAG Atoms提供了出色的热均匀性，其精确的温度控制使其成为性能最好的RTP系统之一。