二手 STEAG / MATTSON / AST Atoms #9353268 待售

STEAG/MATTSON/AST Atoms是一种快速热处理器,它使用革命性的、先进的、超纯的高温退火工艺来提供有效和一致的热处理,以提高性能。它采用高精度、数控加热设备，在前所未有的温度范围内提供精确的温度循环。快速热处理器具有广泛的特性和功能，包括优越的稳定性、可调的工艺时间、两个独立的温度控制回路以及先进的背面晶圆温度测量系统。AST Atoms处理器使用数控非接触式电阻加热单元，在不到九秒的时间内将硅晶片的表面快速加热至所需温度。机器的工作原理是使用电缆在晶圆中产生涡流，然后用感应加热工具进一步加热。这两种方法协同工作，快速一致地达到所需温度。STEAG Atoms处理器有两个独立的温度控制环，它们并行工作，以确保在热处理过程中晶圆的有效和最佳温度控制。第一个环路是比例积分导数控制器，第二个环路是自动调谐控制器，使设定点的控制更加平滑。这样可以确保晶片快速且均匀加热到持续控制的温度,而无需手动调整或干预。原子处理器还通过晶圆尾夹模型使用先进的背面晶圆温度测量资产。其设计目的是在热处理过程中快速测量晶片的温度，有助于确保精度和一致性。背面晶圆温度测量设备的设计也非常快速和准确,即使在超过400 °C的温度下也是如此。MATTSON原子快速热处理器是一个惊人的工具,它使制造商能够通过快速热处理生产出非常精确和一致的组件。STEAG/MATTSON/AST Atoms处理器以其强大的特性、卓越的稳定性、可调的工艺时间、双温控回路和先进的晶圆温度测量系统相结合,是一款在速度和性能上都脱颖而出的强大工具。