二手 STEAG / MATTSON / AST Helios 6000 #9211048 待售

STEAG/MATTSON/AST Helios 6000是一款高性能快速热处理器（RTP）,它采用了成熟的先进技术和组件的独特组合。此高端工业级解决方桉专为半导体晶圆工艺控制工程师和需要快速热处理的各种应用而设计。AST Helios 6000采用工程设计的开放式、无中心感知器设计,可在宽阔的工作区内实现更快的流程周期和最大的均匀性。其结果是最佳的吞吐量和优越的基板加热.STEAG Helios 6000还提供了先进的热控制,具有直接的数字反馈和实时的温度采样,从而产生了具有可重复结果的一致热过程。该设备包括先进的单区自动水平感测和调平系统，确保晶片在加工区内始终牢固地保持，提供卓越的热均匀性。Helios 6000还包括一个高速数字I/O子系统,它提供对设备操作的全面控制,并便于与主机进行通信。先进的数字控制和反馈功能允许用户设置改进的热处理参数,以及通过基于浏览器的用户界面从远程位置监视和控制该过程。MATTSON Helios 6000具有先进的集成过程控制工具和直观的操作员界面,可简化操作。资产的内置配方和过程控制功能允许用户存储各种不同流程的配方库并开发自己的自定义配方。除其他功能外,这为自动化配方提供了无限的可扩展性和灵活性。STEAG/MATTSON/AST Helios 6000还支持与外部系统的流程集成,以进行故障排除、报告和其他要求。AST Helios 6000旨在实现最大的可靠性和过程重复性。它提供高达8.2英寸的宽工作区容量,支持单面和双面基板加热。该模型配备了先进的气体/流量调节器,以确保工作空间内的最佳气体/流量分布,而介质挡板组件则有助于均匀地分配介质流量并实现温度均匀性。总体而言,STEAG Helios 6000是一款先进可靠的快速散热处理器,提供卓越的散热性能和过程可重复性。其强大的体系结构和独特的设计为各种应用程序和过程控制需求提供了极致的性能、灵活性和可扩展性。